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meixinjiance - 2015/3/16 10:47:00

表面异物分析目的：
当材料及零部件表面出现未知物质，不能确定其成分及来源时，可以通过对异物进行微观形貌观察和成分分析进行判断。
分析方法：
根据样品实际情况，以下分析方法可供选用。

仪器名称_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	信号检测_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	元素测定_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	检测限_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	深度分辨率_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	适用范围_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ
扫描电子显微镜（SEM）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	二次及背向散射电子&X射线_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	B-U (EDS mode)_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	0.1 - 1 at%_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	0.5 - 3 µm (EDS)_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	高辨析率成像_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 元素微观分析及颗粒特征化描述_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ
X射线能谱仪（EDS）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	二次背向散射电子&X射线_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	B-U_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	0.1 – 1 at%_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	0.5 – 3 μm_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	小面积上的成像与元素组成；缺陷处元素的识别/绘图；颗粒分析（>300nm）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ
显微红外显微镜（FTIR）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	红外线吸收_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	分子群_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	0.1 - 1 wt%_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	0.1 - 2.5 µm_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	污染物分析中识别有机化合物的分子结构_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体（材料识别）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢（Si-H vs. N-H）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 污染物分析（析取、除过气的产品，残余物）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ
拉曼光谱（Raman）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	拉曼散射_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	化学及分子键联资料_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	>=1 wt%_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	共焦模式_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 1到5 µm_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	为污染物分析、材料分类以及张力力测量而识别有机和无机化合物的分子结构_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 拉曼，碳层特征（石墨、金刚石）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 非共价键联压焊(复合体、金属键联)_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 定位(随机v. 有组织的结构)_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ
俄歇电子能谱仪（AES）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	来自表面附近的Auger电子_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	Li-U_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	0.1-1%亚单层_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	20 – 200 Ǻ侧面分布模式_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	缺陷分析；颗粒分析；表面分析；小面积深度剖面；薄膜成分分析_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ
X射线光电子能谱仪（XPS）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	来自表面原子附近的光电子_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	Li-U化学键联信息_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	0.01 - 1 at% sub-monolayer_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	20 - 200 Å（剖析模式）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 10 - 100 Å (表面分析）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 测量表面成分及化学状态信息_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 薄膜成份的深度剖面_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 硅氧氮化物厚度和测量剂量_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 薄膜氧化物厚度测量（SiO2, Al2O3 等.）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ
飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	分子和元素种类_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	整个周期表，加分子种类_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	107 - 1010at/cm2 sub-monolayer_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	1 - 3 monolayers (Static mode)_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	有机材料和无机材料的表面微量分析_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 来自表面的大量光谱_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ 表面离子成像_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ

部分案例图片：

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塑料断口红色颗粒物分析_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ _óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	塑料表面白色粉末成分分析_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ _óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ
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连接端子pin针表面异物分析_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ _óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ	金手指端部表面异物分析_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ _óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ
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镀金管脚表面异物分析_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ _óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ
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PCB表面异物成分分析_óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ _óåÑCÁ!×bbs.3c3t.com1V]ÝH}þ«¹Þ

84362020gwh - 2015/3/16 11:28:00

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meixinjiance - 2015/3/17 17:12:00

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