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meixinjiance - 2015/3/16 10:47:00

表面异物分析目的：
当材料及零部件表面出现未知物质，不能确定其成分及来源时，可以通过对异物进行微观形貌观察和成分分析进行判断。
分析方法：
根据样品实际情况，以下分析方法可供选用。

仪器名称	信号检测	元素测定	检测限	深度分辨率	适用范围
扫描电子显微镜（SEM）	二次及背向散射电子&X射线	B-U (EDS mode)	0.1 - 1 at%	0.5 - 3 µm (EDS)	高辨析率成像 元素微观分析及颗粒特征化描述
X射线能谱仪（EDS）	二次背向散射电子&X射线	B-U	0.1 – 1 at%	0.5 – 3 μm	小面积上的成像与元素组成；缺陷处元素的识别/绘图；颗粒分析（>300nm）
显微红外显微镜（FTIR）	红外线吸收	分子群	0.1 - 1 wt%	0.1 - 2.5 µm	污染物分析中识别有机化合物的分子结构 识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体（材料识别） 量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢 （Si-H vs. N-H） 污染物分析（析取、除过气的产品，残余物）
拉曼光谱（Raman）	拉曼散射	化学及分子键联资料	>=1 wt%	共焦模式 1到5 µm	为污染物分析、材料分类以及张力力测量而识别有机和无机化合物的分子结构 拉曼，碳层特征 （石墨、金刚石 ） 非共价键联压焊(复合体、金属键联) 定位(随机v. 有组织的结构)
俄歇电子能谱仪（AES）	来自表面附近的Auger电子	Li-U	0.1-1%亚单层	20 – 200 Ǻ侧面分布模式	缺陷分析；颗粒分析；表面分析；小面积深度剖面；薄膜成分分析
X射线光电子能谱仪（XPS）	来自表面原子附近的光电子	Li-U化学键联信息	0.01 - 1 at% sub-monolayer	20 - 200 Å（剖析模式） 10 - 100 Å (表面分析）	有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析 测量表面成分及化学状态信息 薄膜成份的深度剖面 硅 氧氮化物厚度和测量剂量 薄膜氧化物厚度测量（SiO2, Al2O3 等.）
飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）	分子和元素种类	整个周期表，加分子种类	107 - 1010at/cm2 sub-monolayer	1 - 3 monolayers (Static mode)	有机材料和无机材料的表面微量分析 来自表面的大量光谱 表面离子成像

部分案例图片：

塑料断口红色颗粒物分析	塑料表面白色粉末成分分析
连接端子pin针表面异物分析	金手指端部表面异物分析
镀金管脚表面异物分析
PCB表面异物成分分析

84362020gwh - 2015/3/16 11:28:00

快来看看了

meixinjiance - 2015/3/17 17:12:00

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