仪器名称?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 信号检测?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 元素测定?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 检测限?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 深度分辨率?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 适用范围?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ |
扫描电子显微镜(SEM)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 二次及背向散射电子&X射线?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | B-U (EDS mode)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 0.1 - 1 at%?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 0.5 - 3 µm (EDS)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 高辨析率成像?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 元素微观分析及颗粒特征化描述?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ |
X射线能谱仪(EDS)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 二次背向散射电子&X射线?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | B-U?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 0.1 – 1 at%?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 0.5 – 3 μm?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 小面积上的成像与元素组成;缺陷处元素的识别/绘图;颗粒分析(>300nm)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ |
显微红外显微镜(FTIR)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 红外线吸收?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 分子群?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 0.1 - 1 wt%?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 0.1 - 2.5 µm?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 污染物分析中识别有机化合物的分子结构?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体(材料识别)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢 (Si-H vs. N-H)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 污染物分析(析取、除过气的产品,残余物)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ |
拉曼光谱(Raman)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 拉曼散射?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 化学及分子键联资料?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | >=1 wt%?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 共焦模式?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 1到5 µm?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 为污染物分析、材料分类以及张力力测量而识别有机和无机化合物的分子结构?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 拉曼,碳层特征 (石墨、金刚石 )?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 非共价键联压焊(复合体、金属键联)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 定位(随机v. 有组织的结构)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ |
俄歇电子能谱仪(AES)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 来自表面附近的Auger电子?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | Li-U?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 0.1-1%亚单层?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 20 – 200 Ǻ侧面分布模式?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 缺陷分析;颗粒分析;表面分析;小面积深度剖面;薄膜成分分析?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ |
X射线光电子能谱仪(XPS)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 来自表面原子附近的光电子?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | Li-U化学键联信息?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 0.01 - 1 at% sub-monolayer?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 20 - 200 Å(剖析模式)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 10 - 100 Å (表面分析)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 测量表面成分及化学状态信息?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 薄膜成份的深度剖面?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 硅 氧氮化物厚度和测量剂量?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 薄膜氧化物厚度测量(SiO2, Al2O3 等.)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ |
飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 分子和元素种类?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 整个周期表,加分子种类?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 107 - 1010at/cm2 sub-monolayer?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 1 - 3 monolayers (Static mode)?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 有机材料和无机材料的表面微量分析?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 来自表面的大量光谱?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ 表面离子成像?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ |
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塑料断口红色颗粒物分析?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ ?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 塑料表面白色粉末成分分析?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ ?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | |
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连接端子pin针表面异物分析?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ ?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | 金手指端部表面异物分析?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ ?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | |
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镀金管脚表面异物分析?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ ?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ | ||
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PCB表面异物成分分析?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ ?o§~fÒ8bbs.3c3t.comìDqõÉg$ |