仪器名称S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 信号检测S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 元素测定S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 检测限S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 深度分辨率S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 适用范围S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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扫描电子显微镜(SEM)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 二次及背向散射电子&X射线S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| B-U (EDS mode)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 0.1 - 1 at%S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 0.5 - 3 µm (EDS)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 高辨析率成像S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 元素微观分析及颗粒特征化描述S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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X射线能谱仪(EDS)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 二次背向散射电子&X射线S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| B-US û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 0.1 – 1 at%S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 0.5 – 3 μmS û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 小面积上的成像与元素组成;缺陷处元素的识别/绘图;颗粒分析(>300nm)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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显微红外显微镜(FTIR)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 红外线吸收S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 分子群S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 0.1 - 1 wt%S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 0.1 - 2.5 µmS û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 污染物分析中识别有机化合物的分子结构S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体(材料识别)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢 (Si-H vs. N-H)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 污染物分析(析取、除过气的产品,残余物)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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拉曼光谱(Raman)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 拉曼散射S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 化学及分子键联资料S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| >=1 wt%S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 共焦模式S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 1到5 µmS û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 为污染物分析、材料分类以及张力力测量而识别有机和无机化合物的分子结构S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 拉曼,碳层特征 (石墨、金刚石 )S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 非共价键联压焊(复合体、金属键联)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 定位(随机v. 有组织的结构)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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俄歇电子能谱仪(AES)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 来自表面附近的Auger电子S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| Li-US û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 0.1-1%亚单层S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 20 – 200 Ǻ侧面分布模式S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 缺陷分析;颗粒分析;表面分析;小面积深度剖面;薄膜成分分析S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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X射线光电子能谱仪(XPS)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 来自表面原子附近的光电子S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| Li-U化学键联信息S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 0.01 - 1 at% sub-monolayerS û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 20 - 200 Å(剖析模式)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 10 - 100 Å (表面分析)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 测量表面成分及化学状态信息S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 薄膜成份的深度剖面S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 硅 氧氮化物厚度和测量剂量S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 薄膜氧化物厚度测量(SiO2, Al2O3 等.)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 分子和元素种类S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 整个周期表,加分子种类S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 107 - 1010at/cm2 sub-monolayerS û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 1 - 3 monolayers (Static mode)S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 有机材料和无机材料的表面微量分析S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 来自表面的大量光谱S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ 表面离子成像S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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| S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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塑料断口红色颗粒物分析S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 塑料表面白色粉末成分分析S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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| S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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连接端子pin针表面异物分析S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
| 金手指端部表面异物分析S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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| S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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镀金管脚表面异物分析S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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PCB表面异物成分分析S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿ S û°ÿïxbbs.3c3t.comÓN°Ê¨KZ=¿
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