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查看: 2751\|回复: 2	[报告] Ag迁移致集成电路输出异常失效分析 [复制链接]

发送短消息 UID 259415 精华 0 查看公共资料搜索主题搜索帖子 meixinjiance 组别技术员帖子26 积分78 性别注册时间2015-03-11 个人空间	1^# 字体大小: t T 发表于 2015-03-18 11:35 \|只看楼主 1.案例背景Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô 某功能模块在用户端出现功能失效，经返厂检修，发现该模块上的一片IC输出异常，经更换IC后，功能模块恢复正常。Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô 2.分析方法简述Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô 对样品进行外观观察，未发现明显异常。Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô 经X-RAY无损检测，未发现明显异常。Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô 通过C-SAM扫描发现了IC内部存在分层现象。Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô 图5.NG样品C-SAM图片Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô 通过IV曲线测试，发现引脚间存在漏电通道。Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô 图6.NG样品IV曲线图Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô DE-CAP后，利用SEM/EDS进行分析，确认了引脚间存在银迁移问题。Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô 表1.开封后的NG样品内部EDS测试结果(Wt%)Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô 3.结论Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô IC内部存在分层，由于水汽的入侵，加上集成电路各引脚之间存在电位差，导致了引脚间的银迁移，从而在引脚间形成微导通电路，致IC输出异常。Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô 4.参考标准Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô GJB 548B-2005 微电子器件失效分析程序-方法5003。Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô IPC-TM-650 2.1.1-2004手动微切片法。Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô GB/T 17359-2012 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则。Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô
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发送短消息 UID 191978 精华 0 查看公共资料搜索主题搜索帖子 84362020gwh 组别高级工程师帖子1938 积分2696 性别注册时间2012-03-08 个人空间	2^# 字体大小: t T 发表于 2015-03-18 20:22 \|只看该用户这是做什么的Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô


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发送短消息 UID 191978 精华 0 查看公共资料搜索主题搜索帖子 84362020gwh 组别高级工程师帖子1938 积分2696 性别注册时间2012-03-08 个人空间	3^# 字体大小: t T 发表于 2015-03-25 09:44 \|只看该用户快来看看了Â"¤¦ÁÀÍ4gbbs.3c3t.com§×é©²Óv·Ô


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