1.案例背景Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
某功能模块在用户端出现功能失效，经返厂检修，发现该模块上的一片IC输出异常，经更换IC后，功能模块恢复正常。Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
2.分析方法简述Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
对样品进行外观观察，未发现明显异常。Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ãÖ³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã 经X-RAY无损检测，未发现明显异常。Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
.jpg)
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
通过C-SAM扫描发现了IC内部存在分层现象。Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
图5.NG样品C-SAM图片Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
通过IV曲线测试，发现引脚间存在漏电通道。Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
图6.NG样品IV曲线图Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
DE-CAP后，利用SEM/EDS进行分析，确认了引脚间存在银迁移问题。Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
表1.开封后的NG样品内部EDS测试结果(Wt%)Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
3.结论Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
IC内部存在分层，由于水汽的入侵，加上集成电路各引脚之间存在电位差，导致了引脚间的银迁移，从而在引脚间形成微导通电路，致IC输出异常。Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
4.参考标准Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
GJB 548B-2005 微电子器件失效分析程序-方法5003。Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
IPC-TM-650 2.1.1-2004手动微切片法。Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
GB/T 17359-2012 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则。Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
Ö³úSÊDQÓ bbs.3c3t.com[gJ>/ã
%20(2)_1.gif)
