仪器名称å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 信号检测å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 元素测定å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 检测限å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 深度分辨率å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 适用范围å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
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扫描电子显微镜（SEM）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 二次及背向散射电子&X射线å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| B-U (EDS mode)å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 0.1 - 1 at%å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 0.5 - 3 µm (EDS)å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 高辨析率成像å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
元素微观分析及颗粒特征化描述å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
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X射线能谱仪（EDS）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 二次背向散射电子&X射线å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| B-Uå³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 0.1 – 1 at%å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 0.5 – 3 μmå³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 小面积上的成像与元素组成；缺陷处元素的识别/绘图；颗粒分析（>300nm）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
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显微红外显微镜（FTIR）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 红外线吸收å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 分子群å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 0.1 - 1 wt%å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 0.1 - 2.5 µmå³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 污染物分析中识别有机化合物的分子结构å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体（材料识别）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢 （Si-H vs. N-H）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
污染物分析（析取、除过气的产品，残余物）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
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拉曼光谱（Raman）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 拉曼散射å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 化学及分子键联资料å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| >=1 wt%å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 共焦模式å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
1到5 µmå³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 为污染物分析、材料分类以及张力力测量而识别有机和无机化合物的分子结构å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
拉曼，碳层特征 （石墨、金刚石 ）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
非共价键联压焊(复合体、金属键联)å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
定位(随机v. 有组织的结构)å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
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俄歇电子能谱仪（AES）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 来自表面附近的Auger电子å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| Li-Uå³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 0.1-1%亚单层å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 20 – 200 Ǻ侧面分布模式å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 缺陷分析；颗粒分析；表面分析；小面积深度剖面；薄膜成分分析å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
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X射线光电子能谱仪（XPS）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 来自表面原子附近的光电子å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| Li-U化学键联信息å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 0.01 - 1 at% sub-monolayerå³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 20 - 200 Å（剖析模式）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
10 - 100 Å (表面分析）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
测量表面成分及化学状态信息å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
薄膜成份的深度剖面å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
硅 氧氮化物厚度和测量剂量å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
薄膜氧化物厚度测量（SiO2, Al2O3 等.）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
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飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 分子和元素种类å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 整个周期表，加分子种类å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 107 - 1010at/cm2 sub-monolayerå³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 1 - 3 monolayers (Static mode)å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 有机材料和无机材料的表面微量分析å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
来自表面的大量光谱å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
表面离子成像å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
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塑料断口红色颗粒物分析å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4` å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 塑料表面白色粉末成分分析å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4` å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
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连接端子pin针表面异物分析å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4` å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
| 金手指端部表面异物分析å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4` å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
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镀金管脚表面异物分析å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4` å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
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PCB表面异物成分分析å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4` å³\ê- 'Ðbbs.3c3t.comYÚеijC4`
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