仪器名称¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 信号检测¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 元素测定¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 检测限¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 深度分辨率¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 适用范围¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
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扫描电子显微镜（SEM）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 二次及背向散射电子&X射线¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| B-U (EDS mode)¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 0.1 - 1 at%¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 0.5 - 3 µm (EDS)¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 高辨析率成像¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
元素微观分析及颗粒特征化描述¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
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X射线能谱仪（EDS）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 二次背向散射电子&X射线¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| B-U¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 0.1 – 1 at%¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 0.5 – 3 μm¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 小面积上的成像与元素组成；缺陷处元素的识别/绘图；颗粒分析（>300nm）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
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显微红外显微镜（FTIR）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 红外线吸收¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 分子群¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 0.1 - 1 wt%¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 0.1 - 2.5 µm¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 污染物分析中识别有机化合物的分子结构¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体（材料识别）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢 （Si-H vs. N-H）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
污染物分析（析取、除过气的产品，残余物）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
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拉曼光谱（Raman）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 拉曼散射¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 化学及分子键联资料¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| >=1 wt%¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 共焦模式¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
1到5 µm¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 为污染物分析、材料分类以及张力力测量而识别有机和无机化合物的分子结构¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
拉曼，碳层特征 （石墨、金刚石 ）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
非共价键联压焊(复合体、金属键联)¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
定位(随机v. 有组织的结构)¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
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俄歇电子能谱仪（AES）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 来自表面附近的Auger电子¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| Li-U¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 0.1-1%亚单层¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 20 – 200 Ǻ侧面分布模式¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 缺陷分析；颗粒分析；表面分析；小面积深度剖面；薄膜成分分析¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
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X射线光电子能谱仪（XPS）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 来自表面原子附近的光电子¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| Li-U化学键联信息¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 0.01 - 1 at% sub-monolayer¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 20 - 200 Å（剖析模式）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
10 - 100 Å (表面分析）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
测量表面成分及化学状态信息¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
薄膜成份的深度剖面¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
硅 氧氮化物厚度和测量剂量¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
薄膜氧化物厚度测量（SiO2, Al2O3 等.）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
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飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 分子和元素种类¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 整个周期表，加分子种类¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 107 - 1010at/cm2 sub-monolayer¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 1 - 3 monolayers (Static mode)¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 有机材料和无机材料的表面微量分析¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
来自表面的大量光谱¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
表面离子成像¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
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塑料断口红色颗粒物分析¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV ¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 塑料表面白色粉末成分分析¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV ¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
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连接端子pin针表面异物分析¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV ¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
| 金手指端部表面异物分析¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV ¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
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镀金管脚表面异物分析¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV ¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
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PCB表面异物成分分析¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV ¯ñf³w¡)bbs.3c3t.comÂÐ\JV
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