仪器名称 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 信号检测 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 元素测定 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 检测限 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 深度分辨率 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 适用范围 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
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扫描电子显微镜（SEM） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 二次及背向散射电子&X射线 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| B-U (EDS mode) @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 0.1 - 1 at% @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 0.5 - 3 µm (EDS) @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 高辨析率成像 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
元素微观分析及颗粒特征化描述 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
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X射线能谱仪（EDS） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 二次背向散射电子&X射线 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| B-U @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 0.1 – 1 at% @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 0.5 – 3 μm @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 小面积上的成像与元素组成；缺陷处元素的识别/绘图；颗粒分析（>300nm） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
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显微红外显微镜（FTIR） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 红外线吸收 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 分子群 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 0.1 - 1 wt% @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 0.1 - 2.5 µm @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 污染物分析中识别有机化合物的分子结构 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体（材料识别） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢 （Si-H vs. N-H） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
污染物分析（析取、除过气的产品，残余物） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
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拉曼光谱（Raman） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 拉曼散射 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 化学及分子键联资料 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| >=1 wt% @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 共焦模式 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
1到5 µm @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 为污染物分析、材料分类以及张力力测量而识别有机和无机化合物的分子结构 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
拉曼，碳层特征 （石墨、金刚石 ） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
非共价键联压焊(复合体、金属键联) @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
定位(随机v. 有组织的结构) @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
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俄歇电子能谱仪（AES） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 来自表面附近的Auger电子 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| Li-U @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 0.1-1%亚单层 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 20 – 200 Ǻ侧面分布模式 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 缺陷分析；颗粒分析；表面分析；小面积深度剖面；薄膜成分分析 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
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X射线光电子能谱仪（XPS） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 来自表面原子附近的光电子 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| Li-U化学键联信息 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 0.01 - 1 at% sub-monolayer @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 20 - 200 Å（剖析模式） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
10 - 100 Å (表面分析） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
测量表面成分及化学状态信息 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
薄膜成份的深度剖面 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
硅 氧氮化物厚度和测量剂量 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
薄膜氧化物厚度测量（SiO2, Al2O3 等.） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
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飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS） @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 分子和元素种类 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 整个周期表，加分子种类 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 107 - 1010at/cm2 sub-monolayer @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 1 - 3 monolayers (Static mode) @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 有机材料和无机材料的表面微量分析 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
来自表面的大量光谱 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
表面离子成像 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
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塑料断口红色颗粒物分析 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 塑料表面白色粉末成分分析 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
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连接端子pin针表面异物分析 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
| 金手指端部表面异物分析 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
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镀金管脚表面异物分析 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
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PCB表面异物成分分析 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4 @hË_Á~bbs.3c3t.comOLEÁ²Ý`x4
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